Borov trihlorid (BCl3)je neorganski spoj koji se često koristi u procesima suhog nagrizanja i hemijskog taloženja iz pare (CVD) u proizvodnji poluprovodnika. To je bezbojni plin s jakim oštrim mirisom na sobnoj temperaturi i osjetljiv je na vlažan zrak jer hidrolizira i proizvodi hlorovodoničnu kiselinu i bornu kiselinu.

Primjena bor trihlorida

U industriji poluprovodnika,Borov trihloridUglavnom se koristi za suho nagrizanje aluminija i kao dopant za formiranje P-tip regija na silicijumskim pločicama. Može se koristiti i za nagrizanje materijala kao što su GaAs, Si, AlN, te kao izvor bora u određenim specifičnim primjenama. Osim toga, bor trihlorid se široko koristi u obradi metala, industriji stakla, hemijskoj analizi i laboratorijskim istraživanjima.

Sigurnost bor trihlorida

Borov trihloridje korozivan i toksičan te može uzrokovati ozbiljna oštećenja očiju i kože. Hidrolizira na vlažnom zraku oslobađajući toksični plin hlorovodik. Stoga je potrebno poduzeti odgovarajuće sigurnosne mjere prilikom rukovanja.Borov trihlorid, uključujući nošenje zaštitne odjeće, naočala i opreme za zaštitu disajnih puteva, te rad u dobro prozračenom okruženju.