Boron Trichloride (BCL3)je neorganska jedinjenja koja se obično koristi u procesima suhim i hemijskim pare (CVD) u proizvodnji poluvodiča. Bezbojan je plin s jakim očalnim mirisom na sobnoj temperaturi i osjetljiv je na vlažan zrak jer hidrolizira za proizvodnju hdrodrolorične kiseline i bore kiseline.

Primjene boron trihlorida

U poluvodičkoj industriji,Boron Trichlorideuglavnom se koristi za suhovanje aluminija i kao dopant koji će formirati regije P-tipa na silikonskim vaflama. Može se koristiti i za uklanjanje materijala kao što su Gaas, SI, Aln i kao izvor bora u određenim specifičnim aplikacijama. Pored toga, Boron Trichlorid se široko koristi u obradi metala, stakla, hemijskoj analizi i laboratorijskim istraživanjima.

Sigurnost borona trihlorida

Boron Trichlorideje korozivno i otrovno i može izazvati ozbiljnu štetu očiju i koži. Hydrolyzes u vlažnom zraku da pusti toksični vodonik hlorid plina. Stoga se prilikom rukovanja treba poduzeti odgovarajuće mjere sigurnostiBoron Trichloride, uključujući i nošenje zaštitne odjeće, naočala i opreme za zaštitu disanja i rad u dobro prozračenom okruženju.