Laser gas

Laserski plin se uglavnom koristi za lasersko žarenje i litografski plin u elektronskoj industriji. Korist od inovacija ekrana mobilnih telefona i proširenja područja primjene, opseg tržišta polisilikona na niskim temperaturama bit će dodatno proširen, a proces laserskog žarenja značajno je poboljšao performanse TFT-ova. Među plinovima neona, fluora i argona koji se koriste u ArF ekscimer laseru za proizvodnju poluvodiča, neon čini više od 96% mješavine laserskog plina. Sa usavršavanjem poluvodičke tehnologije, upotreba ekscimer lasera se povećala, a uvođenje tehnologije dvostruke ekspozicije dovelo je do naglog povećanja potražnje za neonskim plinom koji troše ArF ekscimer laseri. Korist od promocije lokalizacije elektronskih specijalnih plinova, domaći proizvođači će u budućnosti imati bolji prostor za rast tržišta.

Litografska mašina je osnovna oprema proizvodnje poluprovodnika. Litografija definira veličinu tranzistora. Koordinirani razvoj lanca litografske industrije ključ je proboja litografske mašine. Odgovarajući poluprovodnički materijali kao što su fotorezist, fotolitografski gas, fotomaska ​​i oprema za premazivanje i razvijanje imaju visok tehnološki sadržaj. Litografski plin je plin koji litografska mašina stvara duboki ultraljubičasti laser. Različiti litografski plinovi mogu proizvesti izvore svjetlosti različitih valnih dužina, a njihova talasna dužina direktno utiče na rezoluciju litografske mašine, koja je jedna od jezgri litografske mašine. U 2020. ukupna globalna prodaja litografskih mašina iznosiće 413 jedinica, od čega je ASML prodaja 258 jedinica činila 62%, Canon prodaja 122 jedinice čini 30%, a Nikon prodaja 33 jedinice čini 8%.