Vodonik hloridje bezbojan plin sa ostrvcem. Njegova vodena otopina naziva se hidroukloronska kiselina, poznata i kao klorovodonična kiselina. Vodonik hlorid je vrlo topljiv u vodi. Na 0 ° C, 1 zapremina vode može se otopiti oko 500 količina vodonika.

Ima sljedeća svojstva i karakteristike:

1. Visoka čistoća

Čistoća elektroničke ocjeneVodonik hloridje vrlo visok, obično na PPM-u ili nižem nivou kako bi se osiguralo da se ne uvode nečistoće u proces proizvodnje poluvodiča.

2. Inertnost

To je hemijski inertan gas koji ne reagira s mnogim drugim tvarima, što je vrlo važno za sprečavanje kontaminacije poluvodičkih materijala i opreme.

3. Visoka stabilnost

Elektronska ocjenaVodonik hloridGeneralno ima stabilnu hemiju za osiguranje pouzdane prerade poluvodiča.

U preradi poluvodiča, glavna primjena elektroničkog hlorida za elektroničke klase uključuju:

1. Čišćenje i priprema površina

Kao efikasan površinski čistač, elektronička ocjenaVodonik hloridkoristi se za uklanjanje oksida i nečistoće sa površine podloge kako bi se osigurala kvalitet i čistoću epitakselnog sloja ili filma.

2.Opisačka pomoć za rast

Koristi se kao sredstvo za obradu površine u epitaksijskom procesu, pomaže u poboljšanju kvalitete epitaksije sloja, poboljšanju podudaranja rešetka i smanjuje stvaranje rešetkinih oštećenja.

3. Pretpostavka supstrata

Prije pripreme poluvodičkih uređaja, elektronička ocjenaVodonik hloridMože se koristiti za liječenje površine supstrata da bi se formirala stabilna baza za poboljšanje adhezije između epitaksijskog sloja i supstrata.

4. Pomoćni agent za taloženje

U procesu hemijskog taložanja pare (CVD) ili fizičkim talogom pare (PVD), hidrogen hlorid elektronike može se koristiti kao medija za prenos plinskog faza za sudjelovanje u reakciji izdatih materijala za poluvodičke materijale.

5. Agent za prenošenje plinskog faza

Kao agent za prenos plinskog faza, drugi prekursori gasovitih prevara uvedeni su u reakcijsku komoru kako bi se pomoglo u prilagođavanju stope talože i ujednačenosti materijala.

Ove karakteristike čine elektroničku ocjenuVodonik hloridVažan agent za preradu u poluvodiču tehnologiji, koji ima ključni utjecaj na performanse i pouzdanost konačnog uređaja.

Pored upotrebe u preradi poluvodiča, hidrogen hlorid može pronaći razne koristi u drugim područjima, uključujući: pripremu materijala visoke čistoće, gorivne ćelije, rast poluvodičkog materijala, lapor faze litografije, analiza materijala, hemijsko istraživanje.

Općenito, elektronička ocjenaVodonik hloridje svestran, plin visoke čistoće koji ima širok spektar primjene izvan proizvodnje poluvodiča.