Hlorid vodikaje bezbojni plin oštrog mirisa. Njegov vodeni rastvor se naziva hlorovodonična kiselina, također poznata kao hlorovodonična kiselina. Hlorid vodonika je vrlo rastvorljiv u vodi. Na 0°C, 1 volumen vode može rastvoriti oko 500 volumena hlorovodika.

Ima sljedeća svojstva i karakteristike:

1. Visoka čistoća

Čistoća elektronskog kvalitetahlorovodikje vrlo visok, obično na nivou ppm ili nižem, kako bi se osiguralo da se nečistoće ne unesu u proces proizvodnje poluprovodnika.

2. Inertnost

To je hemijski inertan plin koji ne reagira s mnogim drugim supstancama, što je vrlo važno za sprječavanje kontaminacije poluvodičkih materijala i opreme.

3. Visoka stabilnost

Elektronska ocjenahlorovodikGeneralno ima stabilan hemijski sastav kako bi se osigurala pouzdana obrada poluprovodnika.

U obradi poluprovodnika, glavne primjene hlorovodonika elektronskog kvaliteta uključuju:

1. Čišćenje i priprema površine

Kao efikasno sredstvo za čišćenje površina, elektronskog kvalitetahlorovodikKoristi se za uklanjanje oksida i nečistoća sa površine supstrata kako bi se osigurala kvaliteta i čistoća epitaksijalnog sloja ili filma.

2. Pomoć pri epitaksijalnom rastu

Koristi se kao sredstvo za površinsku obradu u epitaksijalnom procesu, pomaže u poboljšanju kvalitete epitaksijalnog sloja, poboljšanju podudaranja rešetke i smanjenju stvaranja defekata rešetke.

3. Prethodna obrada podloge

Prije pripreme poluprovodničkih uređaja, elektroničkog kvalitetahlorovodikmože se koristiti za tretiranje površine supstrata kako bi se formirala stabilna baza za poboljšanje prianjanja između epitaksijalnog sloja i supstrata.

4. Pomoćno sredstvo za taloženje

U procesu hemijskog taloženja iz parne faze (CVD) ili fizičkog taloženja iz parne faze (PVD), hlorovodik elektronskog kvaliteta može se koristiti kao medij za prenos gasne faze kako bi učestvovao u reakciji taloženja poluprovodničkih materijala.

5. Sredstvo za prenos gasovite faze

Kao sredstvo za prenos gasovite faze, drugi gasoviti prekursori se uvode u reakcijsku komoru kako bi se pomoglo u podešavanju brzine taloženja i ujednačenosti materijala.

Ove karakteristike čine elektronski kvalitethlorovodikvažan procesni agens u poluprovodničkoj tehnologiji, koji ima ključni utjecaj na performanse i pouzdanost konačnog uređaja.

Pored upotrebe u obradi poluprovodnika, hlorid vodonika elektronskog kvaliteta može naći razne primjene u drugim oblastima, uključujući: pripremu materijala visoke čistoće, gorivne ćelije, rast poluprovodničkih materijala, litografiju gasne faze, analizu materijala i hemijska istraživanja.

Općenito, elektronički razredhlorovodikje svestran plin visoke čistoće koji ima širok spektar primjene izvan proizvodnje poluprovodnika.