Silanje spoj silicija i vodika i opći je naziv za niz spojeva. Silan uglavnom uključuje monosilan (SiH4), disilan (Si2H6) i neke spojeve silicija i vodika višeg nivoa, s općom formulom SinH2n+2. Međutim, u stvarnoj proizvodnji, monosilan (hemijska formula SiH4) općenito nazivamo "silanom".

Elektronski kvalitetsilan plinUglavnom se dobija raznim reakcijskim destilacijama i pročišćavanjem silicijumskog praha, vodonika, silicijum tetrahlorida, katalizatora itd. Silan čistoće od 3N do 4N naziva se silan industrijskog kvaliteta, a silan čistoće veće od 6N naziva se silan gas elektronske kvalitete.

Kao izvor plina za nošenje silicijumskih komponenti,silan plinpostao je važan specijalni plin koji se ne može zamijeniti mnogim drugim izvorima silicija zbog svoje visoke čistoće i sposobnosti postizanja fine kontrole. Monosilan generira kristalni silicij putem reakcije pirolize, što je trenutno jedna od metoda za proizvodnju velikih razmjera granuliranog monokristalnog i polikristalnog silicija u svijetu.

Karakteristike silana

Silan (SiH4)je bezbojni plin koji reagira sa zrakom i uzrokuje gušenje. Njegov sinonim je silicijum hidrid. Hemijska formula silana je SiH4, a njegov sadržaj je čak 99,99%. Na sobnoj temperaturi i pritisku, silan je otrovni plin neugodnog mirisa. Tačka topljenja silana je -185 ℃, a tačka ključanja je -112 ℃. Na sobnoj temperaturi, silan je stabilan, ali kada se zagrije na 400 ℃, potpuno će se razložiti na plinoviti silicijum i vodik. Silan je zapaljiv i eksplozivan, te će eksplozivno gorjeti na zraku ili halogenom plinu.

Polja primjene

Silan ima širok spektar upotrebe. Osim što je najefikasniji način vezivanja molekula silicija za površinu ćelije tokom proizvodnje solarnih ćelija, široko se koristi i u proizvodnim pogonima kao što su poluprovodnici, ravni ekrani i premazano staklo.

Silanje izvor silicija za procese hemijskog taloženja iz parne faze kao što su monokristalni silicij, polikristalne silicijske epitaksijalne pločice, silicijev dioksid, silicijev nitrid i fosfosilikatno staklo u industriji poluprovodnika, a široko se koristi u proizvodnji i razvoju solarnih ćelija, silicijskih bubnjeva za kopiranje, fotoelektričnih senzora, optičkih vlakana i specijalnog stakla.

Posljednjih godina, visokotehnološke primjene silana su i dalje u porastu, uključujući proizvodnju napredne keramike, kompozitnih materijala, funkcionalnih materijala, biomaterijala, visokoenergetskih materijala itd., postajući osnova mnogih novih tehnologija, novih materijala i novih uređaja.