Silane (SiH4)

Tehnički parametri

Silan je spoj silicijuma i vodonika. To je opći naziv za niz spojeva, uključujući monosilan (SiH4), disilan (Si2H6) i neka jedinjenja silicijum-vodik višeg nivoa. Među njima, monosilan je najčešći, ponekad se skraćeno naziva silan. Silan je bezbojni gas sa odvratnim mirisom belog luka. Rastvorljiv u vodi, skoro nerastvorljiv u etanolu, eteru, benzenu, hloroformu, silicijum hloroformu i silicijum tetrahloridu. Hemijska svojstva silana su mnogo aktivnija od alkana i lako se oksidiraju. U kontaktu sa vazduhom može doći do spontanog sagorevanja. Ne reaguje sa azotom ispod 25°C i ne reaguje sa jedinjenjima ugljovodonika na sobnoj temperaturi. Požar i eksplozija silana su rezultat reakcije sa kiseonikom. Silan je izuzetno osjetljiv na kisik i zrak. Silan sa određenom koncentracijom će također reagirati eksplozivno s kisikom na temperaturi od -180°C. Silan je postao najvažniji specijalni plin koji se koristi u procesima poluvodičke mikroelektronike, a koristi se u pripremi različitih mikroelektronskih filmova, uključujući monokristalne filmove, mikrokristalne, polikristalne, silicijum oksid, silicijum nitrid i metalne silicide. Mikroelektronske primjene silana se još uvijek dublje razvijaju: epitaksija na niskim temperaturama, selektivna epitaksija i heteroepitaksijalna epitaksija. Ne samo za silicijumske uređaje i silicijumska integrisana kola, već i za složene poluvodičke uređaje (galijum arsenid, silicijum karbid, itd.). Također ima primjenu u pripremi materijala za kvantne bunare superrešetke. Može se reći da se silan koristi u gotovo svim naprednim proizvodnim linijama integriranih kola u moderno doba. Primjena silana kao filma i premaza koji sadrži silicij proširila se iz tradicionalne mikroelektroničke industrije na različita polja kao što su čelik, strojevi, kemikalije i optika. Još jedna potencijalna primjena silana je proizvodnja keramičkih dijelova motora visokih performansi, posebno korištenje silana za proizvodnju silicidne (Si3N4, SiC, itd.) tehnologije mikropraha privlači sve više pažnje.

primjena:

①Elektronski:

Silan se nanosi na slojeve polikristalnog silicija na silikonskim pločicama prilikom proizvodnje poluprovodnika i zaptivača.

②Solarni:

Silan se koristi u proizvodnji solarnih fotonaponskih modula.

③Industrijski:

Koristi se u zelenom staklu koji štedi energiju i primjenjuje se na proces tankog filma taloženja parom.

Normalan paket:

prednost:

①Više od deset godina na tržištu;

② Proizvođač ISO sertifikata;

③Brza dostava;

④Stabilan izvor sirovina;

⑤On-line sistem analize za kontrolu kvaliteta u svakom koraku;

⑥ Visoki zahtjevi i pedantan proces za rukovanje cilindrom prije punjenja;

⑦Čistoća: elektronski razred visoke čistoće;

⑧Upotreba: materijali za solarne ćelije; pravljenje polisilicijuma visoke čistoće, silicijum oksida i optičkih vlakana; proizvodnja stakla u boji.