Ugljikov tetrafluorid (CF4)

Tehnički parametri

Ugljik tetrafluorid je halogenirani ugljikovodik s hemijskom formulom CF4. Može se smatrati halogeniranim ugljikovodikom, halogeniranim metanom, perfluorougljikom ili neorganskim spojem. Ugljik tetrafluorid je plin bez boje i mirisa, nerastvorljiv u vodi, rastvorljiv u benzenu i kloroformu. Stabilan je na normalnoj temperaturi i pritisku, izbjegavajte jake oksidanse, zapaljive ili gorljive materijale. Nezapaljiv je plin, unutrašnji pritisak u posudi će se povećati kada je izložena visokoj temperaturi, i postoji opasnost od pucanja i eksplozije. Hemijski je stabilan i nezapaljiv. Samo tekući metalni reagens amonijak-natrij može raditi na sobnoj temperaturi. Ugljik tetrafluorid je plin koji uzrokuje efekt staklene bašte. Vrlo je stabilan, može dugo ostati u atmosferi i vrlo je snažan staklenički plin. Ugljik tetrafluorid se koristi u procesu plazma nagrizanja različitih integriranih krugova. Također se koristi kao laserski plin, a koristi se i u niskotemperaturnim rashladnim sredstvima, otapalima, mazivima, izolacijskim materijalima i rashladnim sredstvima za infracrvene detektore. To je najčešće korišteni plin za plazma nagrizanje u mikroelektronskoj industriji. To je mješavina tetrafluorometana visoke čistoće plina i tetrafluorometana visoke čistoće plina i kisika visoke čistoće. Može se široko koristiti u siliciju, silicijum dioksidu, silicijum nitridu i fosfosilikatnom staklu. Nagrizanje tankoslojnih materijala poput volframa i volframa također se široko koristi u čišćenju površina elektroničkih uređaja, proizvodnji solarnih ćelija, laserskoj tehnologiji, niskotemperaturnom hlađenju, inspekciji curenja i deterdžentu u proizvodnji štampanih kola. Koristi se kao niskotemperaturno rashladno sredstvo i tehnologija suhog nagrizanja plazmom za integrirana kola. Mjere opreza za skladištenje: Čuvati u hladnom, prozračenom skladištu nezapaljivog plina. Držati dalje od izvora vatre i topline. Temperatura skladištenja ne smije prelaziti 30°C. Treba ga čuvati odvojeno od lako (zapaljivih) zapaljivih tvari i oksidansa te izbjegavati mješovito skladištenje. Prostor za skladištenje treba biti opremljen opremom za hitne slučajeve curenja.

Primjena:

① Rashladno sredstvo:

Tetrafluorometan se ponekad koristi kao rashladno sredstvo na niskim temperaturama.

② Graviranje:

Koristi se u mikrofabrikaciji elektronike samostalno ili u kombinaciji s kisikom kao plazma nagrizajuće sredstvo za silicijum, silicijum dioksid i silicijum nitrid.

Uobičajeni paket:

Prednost:

①Visoka čistoća, najsavremeniji objekat;

②Proizvođač sa ISO certifikatom;

③Brza dostava;

④Online sistem analize za kontrolu kvaliteta u svakom koraku;

⑤Visoki zahtjevi i pedantan proces rukovanja cilindrom prije punjenja;