U proizvodnom procesu relativno naprednih proizvodnih gasova potrebna su gotovo 50 različitih vrsta plinova potrebna su gotovo 50 različitih vrsta gasova. Gasovi su uglavnom podijeljeni u skupne gasove iSpecijalni plinovi.

Primjena gasova u mikroelektroniku i poluvodiču industrija Upotreba gasova uvijek je igrala važnu ulogu u poluvodičkim procesima, posebno u raznim industrijama široko se koriste poluvodičke procese. Iz Ulsija, TFT-LCD-a do trenutnih mikro-elektromehaničkih (MEM-ova) industrije, poluvodički procesi koriste se kao procesi proizvodnje proizvoda, uključujući suho iskanje, oksidaciju, ionska implantaciju, tanak taloženje za tanko film

Na primjer, mnogi ljudi znaju da su čipovi od pijeska, ali gledajući cijeli proces proizvodnje čipova, potreban je više materijala, poput fotorezerista, poliranje tekućine, ciljnog materijala, posebnog plina itd. Back-End Packaging također zahtijeva podloge, umesto, olovne okvire, vezanje materijala itd. Raznih materijala. Elektronski specijalni plinovi su drugi najveći materijal u troškovima proizvodnje poluvodiča nakon silicijumnih rezača, nakon čega slijede maske i fotorezisti.

Čistoća plina ima odlučujući utjecaj na performanse komponenata i prinos proizvoda, a sigurnost opskrbe plinom odnosi se na zdravlje osoblja i sigurnosti fabričke operacije. Zašto čistoća plina ima tako veliki utjecaj na procesnu liniju i osoblje? Ovo nije pretjerivanje, ali određuje se opasnim karakteristikama samog plina.

Klasifikacija zajedničkih gasova u industriji poluvodiča

Obični plin

Obični plin se također naziva i skupno plin: Odnosi se na industrijski plin čistoćom manjim od 5n i velikom proizvodnom i prodajnom obimu. Može se podijeliti u plin i sintetički plin odvajanja zraka prema različitim metodama pripreme. Vodonik (H2), azot (N2), kisik (O2), Argon (A2), itd.;

Specijalni gas

Specijalni plin odnosi se na industrijski plin koji se koristi u određenim poljima i ima posebne zahtjeve za čistoću, raznolikost i svojstva. UglavnomSih4, PH3, B2H6, A8H3,HCl, CF4,NH3, POCL3, sih2cl2, sihcl3,NH3, Bcl3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6... i tako dalje.

Vrste pomoćnih plinova

Vrste posebnih gasova: korozivno, toksično, zapaljivo, podržavanje izgaranja, inertne itd.
Najčešće korišteni poluvodički gasovi klasificirani su na sljedeći način:
(i) korozivno / otrovno:HCl, BF3, WF6, HBR, SIH2CL2, NH3, PH3, CL2,BCL3...
(ii) zapaljivi: H2,CH4,Sih4, Ph3, ash3, sih2cl2, b2h6, CH2F2, CH3F, co ...
(iii) zapaljivo: O2, CL2, N2O, NF3 ...
(iv) inert: n2,CF4, C2F6,C4F8,SF6, CO2,Ne,Kr, On ...

U procesu proizvodnje poluvodiča, oko 50 različitih vrsta posebnih gasova (naziva posebnim plinovima) koriste se u oksidaciji, difuziji, taložima, jedrinju, ubrizgavanju, fotolitografiji i drugim procesima, a ukupni procesni koraci prelaze stotine. Na primjer, PH3 i ASH3 koriste se kao fosforni i arsenski izvori u procesu implantacije ion, FCF3, HBR, BCI3, HBR, BCI3, HBR, N2O u procesu taloženja, f2 / kr / ne, kr / ne u procesu fotolitografije.

Iz gore navedenih aspekata možemo shvatiti da su mnogi poluvodički plinovi štetni za ljudsko tijelo. Konkretno, neki plinovi, poput SIH4, samo se zapanjuju. Sve dok cure, snažno će reagirati kisikom u zraku i počniti da gori; A ASH3 je vrlo toksičan. Svako blago curenje može nanijeti štetu životu ljudi, tako da su zahtjevi za sigurnost dizajna kontrolnog sustava za upotrebu posebnih plinova posebno visoki.

Poluvodiči zahtijevaju da plinovi visoke čistoće imaju "tri stepena"

Čistoća plina

Sadržaj atmosfere nečistoće u plinu obično se izražava kao postotak čistoće plina, kao što je 99,9999%. Općenito govoreći, čistoć za elektroničke posebne plinove dostiže 5n-6N, a izražava se i omjerom glasnoće u sadržaju atmosfere nečistoće PPM (dio po milijardu) i PPT (dio po trilijunu). Elektronsko poluvodičko polje ima najviše zahtjeve za čistoću i kvalitetnu stabilnost posebnih gasova, a čistoća elektroničkih posebnih plinova općenito je veća od 6n.

Suvoća

Sadržaj vode u tragovima u plinu ili vlažnost, obično se izražava u tački rose, poput atmosferske rose točke -70 ℃.

Čistoća

Broj čestica zagađivača u plinu, česticama veličine čestica μm, izražava se u koliko čestica / m3. Za komprimirani zrak obično se izražava u mg / m3 neizbježljivih čvrstih ostataka koji uključuje sadržaj nafte.