Globalno tržište elektronskih gasova za integrisana kola dostiglo je 4,512 milijardi američkih dolara u 2018. godini, što predstavlja međugodišnji porast od 16%. Visoka stopa rasta industrije elektronskih specijalnih gasova za poluprovodnike i ogromna veličina tržišta ubrzali su domaći plan zamjene elektronskih specijalnih gasova!
Šta je elektronski gas?
Elektronski plin se odnosi na osnovni izvorni materijal koji se koristi u proizvodnji poluprovodnika, ravnih ekrana, svjetlećih dioda, solarnih ćelija i drugih elektronskih proizvoda, te se široko koristi u čišćenju, nagrizanju, formiranju filma, dopiranju i drugim procesima. Glavna područja primjene elektronskog plina uključuju elektroničku industriju, solarne ćelije, mobilne komunikacije, navigaciju u automobilima i audio i video sisteme za automobile, zrakoplovstvo, vojnu industriju i mnoga druga područja.
Specijalni elektronski gasovi mogu se podijeliti u sedam kategorija prema svom hemijskom sastavu: silicijum, arsen, fosfor, bor, metalni hidrid, halogenid i metalni alkoksid. Prema različitim metodama primjene u integrisanim kolima, mogu se podijeliti na doping gas, epitaksi gas, gas za jonsku implantaciju, gas za svjetleće diode, gas za nagrizanje, gas za hemijsko taloženje pare i balansni gas. U industriji poluprovodnika koristi se više od 110 specijalnih gasova, od kojih se više od 30 uobičajeno koristi.
Generalno, industrija proizvodnje poluprovodnika dijeli gasove na dvije vrste: uobičajene gasove i specijalne gasove. Među njima, uobičajeno korišteni gas se odnosi na centralizovano snabdijevanje i koristi mnogo gasa, kao što su N2, H2, O2, Ar, He, itd. Specijalni gas se odnosi na neke hemijske gasove koji se koriste u procesu proizvodnje poluprovodnika, kao što su ekstenzija, ubrizgavanje jona, miješanje, pranje i formiranje maske, što danas nazivamo elektronskim specijalnim gasom, kao što su visokočisti SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2, itd.
U cijelom proizvodnom procesu poluprovodničke industrije, od rasta čipova do konačnog pakovanja uređaja, gotovo svaka karika je neodvojiva od specijalnog elektronskog gasa, a raznolikost korištenog gasa i visoki zahtjevi za kvalitetom su neophodni, tako da elektronski gas ima poluprovodničke materijale. "Hrana".
Posljednjih godina, proizvodni kapaciteti glavnih elektronskih komponenti u Kini, poput poluprovodnika i displeja, porasli su, a postoji i snažna potražnja za zamjenom uvoza elektronskih hemijskih materijala. Položaj elektronskih gasova u industriji poluprovodnika postao je sve istaknutiji. Domaća industrija elektronskih gasova će dovesti do brzog rasta.
Specijalni elektronski plin ima vrlo visoke zahtjeve za čistoću, jer ako čistoća nije u skladu sa zahtjevima, nečistoće poput vodene pare i kisika u specijalnom elektronskom plinu lako će formirati oksidni film na površini poluvodiča, što utječe na vijek trajanja elektroničkih uređaja, a čestice nečistoća u specijalnom elektronskom plinu mogu uzrokovati kratke spojeve poluvodiča i oštećenje strujnog kola. Može se reći da poboljšanje čistoće igra vitalnu ulogu u prinosu i performansama proizvodnje elektroničkih uređaja.
S kontinuiranim razvojem poluprovodničke industrije, proces proizvodnje čipova se nastavlja poboljšavati i sada je dostigao 5nm, što se približava granici Murovog zakona, koja je ekvivalentna jednoj dvadesetini prečnika ljudske dlake (oko 0,1 mm). Stoga, ovo također postavlja veće zahtjeve za čistoću elektronskog specijalnog gasa koji proizvode poluprovodnici.
Vrijeme objave: 15. decembar 2021.
