U 2018, globalno tržište elektronskog gasa za integrisana kola dostiglo je 4,512 milijardi dolara, što je povećanje od 16% u odnosu na prethodnu godinu.Visoka stopa rasta elektronske industrije specijalnog gasa za poluprovodnike i ogromna veličina tržišta ubrzali su domaći plan supstitucije elektronskim specijalnim gasom!
Šta je elektronski gas?
Elektronski plin odnosi se na osnovni izvorni materijal koji se koristi u proizvodnji poluvodiča, ravnih displeja, dioda koje emituju svjetlost, solarnih ćelija i drugih elektroničkih proizvoda, a ima široku primjenu u čišćenju, jetkanju, formiranju filma, dopingu i drugim procesima.Glavna područja primjene elektronskog plina uključuju elektronsku industriju, solarne ćelije, mobilne komunikacije, navigaciju za automobile i auto audio i video sisteme, zrakoplovstvo, vojnu industriju i mnoga druga polja.
Elektronski specijalni gas se može podeliti u sedam kategorija prema sopstvenom hemijskom sastavu: silicijum, arsen, fosfor, bor, metalni hidrid, halogenid i metalni alkoksid.Prema različitim metodama primjene u integriranim krugovima, može se podijeliti na plin za doping, plin za epitaksiju, plin za implantaciju jona, plin diode koje emituje svjetlost, plin za jetkanje, plin za nanošenje kemijske pare i plin za balansiranje.Postoji više od 110 jedinica specijalnih gasova koji se koriste u industriji poluprovodnika, od kojih se više od 30 obično koristi.
Općenito, industrija proizvodnje poluvodiča dijeli plinove na dvije vrste: uobičajene plinove i posebne plinove.Među njima, najčešće korišćeni gas odnosi se na centralizovano snabdevanje i koristi mnogo gasa, kao što su N2, H2, O2, Ar, He, itd. Specijalni gas se odnosi na neke hemijske gasove koji se koriste u procesu proizvodnje poluprovodnika, kao npr. ekstenzija, ubrizgavanje jona, mešanje, pranje i formiranje maske, što je ono što danas nazivamo specijalnim elektronskim gasom, kao što su SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2, itd.
U cjelokupnom proizvodnom procesu industrije poluvodiča, od rasta čipa do konačnog pakiranja uređaja, gotovo svaka karika je neodvojiva od elektronskog specijalnog plina, te raznolikosti korištenog plina i zahtjeva visokog kvaliteta, pa elektronski plin ima poluvodičke materijale.“Hrana”.
Posljednjih godina, glavne kineske elektroničke komponente kao što su poluvodiči i displeji povećali su se u novim proizvodnim kapacitetima, a postoji i snažna potražnja za zamjenom uvoza elektronskih hemijskih materijala.Položaj elektronskih plinova u industriji poluvodiča postaje sve istaknutiji.Domaća elektronska plinska industrija će započeti brzi rast.
Elektronski specijalni plin ima vrlo visoke zahtjeve za čistoćom, jer ako čistoća nije u skladu sa zahtjevima, grupe nečistoća kao što su vodena para i kisik u elektronskom specijalnom plinu će lako formirati oksidni film na površini poluvodiča, što utiče na vijek trajanja elektroničkih uređaja, a elektronski specijalni plin sadrži čestice nečistoća koje mogu uzrokovati kratke spojeve poluvodiča i oštećenja kola.Može se reći da poboljšanje čistoće igra vitalnu ulogu u prinosu i performansama proizvodnje elektronskih uređaja.
Uz kontinuirani razvoj industrije poluprovodnika, proces proizvodnje čipova nastavlja da se poboljšava, a sada je dostigao 5nm, što se približava granici Mooreovog zakona, što je ekvivalentno jednoj dvadesetini prečnika ljudske dlake ( oko 0,1 mm).Stoga, ovo takođe postavlja veće zahtjeve za čistoću elektronskog specijalnog plina koji proizvode poluvodiči.
Vrijeme objave: 15.12.2021
