Uobičajeni specijalni elektronički gasovi koji sadrže fluore uključujusumpor heksafluoride (sf6), volfram heksafluorid (WF6),Carbon Tetrafluoride (CF4), Trifluoromethane (CHF3), dušikov trifluorid (NF3), heksafluoroetan (C2F6) i Octafluoropropane (C3F8).
Razvoj nanotehnologije i velikim razvojem elektroničke industrije, njen će se zahtjev povećati iz dana u dan. Dušik trifluorid, kao neophodan i najveći korišteni specijalni elektronski plin u proizvodnji i preradi panela i poluvodiča, ima široko tržišni prostor.
Kao vrsta specijalnog plina koji sadrži fluore,Dušikov trifluorid (NF3)Da li je elektronski poseban plinski proizvod sa najvećim tržišnim kapacitetom. Hemijski je inert na sobnoj temperaturi, aktivniji od kisika na visokoj temperaturi, štaliji od fluora i jednostavan za rukovanje. Dušikov trifluorid se uglavnom koristi kao plinska gasa za jačanje i reakcijsku komoru za čišćenje i pogodan je za proizvodne polje poluvodičkih čipova, ploče za ploče, optička vlakna, fotonaponske ćelije itd.
U poređenju s drugim elektronskim plinovima koji sadrže fluore,Dušikov trifluoridIma prednosti brze reakcije i visoku efikasnost. Naročito u jetku materijala koji sadrže silikon, poput silikonskih nitrida, ima visoku stopu i selektivnost, ne ostavljajući ostatak na površini ettched objekta. To je ujedno i vrlo dobar sredstvo za čišćenje i nema zagađenja na površinu, koja može udovoljiti potrebama procesa obrade.
Pošta: Sep-14-2024
