Volframov heksafluorid (WF6) se nanosi na površinu pločice CVD postupkom, popunjavajući metalne međusobne kanale i formirajući metalnu međusobnu vezu između slojeva.
Prvo razgovarajmo o plazmi. Plazma je oblik materije koji se uglavnom sastoji od slobodnih elektrona i nabijenih iona. Široko je rasprostranjena u svemiru i često se smatra četvrtim agregatnim stanjem materije. Naziva se plazma stanje, također poznato kao "plazma". Plazma ima visoku električnu provodljivost i jak efekat sprege sa elektromagnetnim poljem. To je djelomično jonizovani gas, sastavljen od elektrona, iona, slobodnih radikala, neutralnih čestica i fotona. Sama plazma je električno neutralna smjesa koja sadrži fizički i hemijski aktivne čestice.
Jednostavno objašnjenje je da će pod djelovanjem visoke energije, molekula savladati van der Waalsovu silu, silu hemijske veze i Coulombovu silu, te u cjelini predstavljati oblik neutralnog elektriciteta. Istovremeno, visoka energija koju daje spolja savladava gore navedene tri sile. Funkcija je da elektroni i ioni predstavljaju slobodno stanje, koje se može vještački koristiti modulacijom magnetskog polja, kao što je proces nagrizanja poluprovodnika, CVD proces, PVD i IMP proces.
Šta je visoka energija? Teoretski, mogu se koristiti i visokotemperaturni i visokofrekventni RF. Generalno govoreći, visoku temperaturu je gotovo nemoguće postići. Ovaj temperaturni zahtjev je previsok i može biti blizu temperature Sunca. U osnovi ga je nemoguće postići u tom procesu. Stoga, industrija obično koristi visokofrekventni RF da bi to postigla. Plazma RF može doseći i do 13MHz+.
Volframov heksafluorid se plazmizira pod djelovanjem električnog polja, a zatim se taloži u parnoj pari pomoću magnetskog polja. Atomi W su slični zimskom guščjem perju i padaju na tlo pod djelovanjem gravitacije. Polako se atomi W talože u prolazne rupe i konačno ispunjavaju pune prolazne rupe formirajući metalne međusobne veze. Pored taloženja atoma W u prolaznim rupama, hoće li se oni taložiti i na površini pločice? Da, definitivno. Općenito govoreći, možete koristiti W-CMP proces, što nazivamo procesom mehaničkog brušenja, za uklanjanje. Slično je korištenju metle za čišćenje poda nakon jakog snijega. Snijeg na tlu se uklanja, ali snijeg u rupi na tlu će ostati. Dolje, otprilike isto.
Vrijeme objave: 24. decembra 2021.
