Volfram heksafluorid (WF6) se taloži na površini pločice kroz CVD proces, ispunjavajući metalne rovove za međusobnu vezu i formirajući metalnu međusobnu vezu između slojeva.
Hajde da prvo pričamo o plazmi. Plazma je oblik materije koji se uglavnom sastoji od slobodnih elektrona i nabijenih jona. Postoji široko u svemiru i često se smatra četvrtim stanjem materije. To se naziva stanje plazme, a naziva se i "plazma". Plazma ima visoku električnu provodljivost i snažno spajanje s elektromagnetnim poljem. To je djelomično jonizirani plin, sastavljen od elektrona, jona, slobodnih radikala, neutralnih čestica i fotona. Sama plazma je električki neutralna mješavina koja sadrži fizički i kemijski aktivne čestice.
Jednostavno objašnjenje je da će pod dejstvom visoke energije molekul savladati van der Waalsovu silu, silu hemijske veze i Kulonovu silu, i predstavljati oblik neutralnog elektriciteta u celini. Istovremeno, visoka energija koju daje spolja pobjeđuje gore navedene tri sile. Funkcija, elektroni i ioni predstavljaju slobodno stanje, koje se može umjetno koristiti pod modulacijom magnetnog polja, kao što je proces jetkanja poluvodiča, CVD proces, PVD i IMP proces.
Šta je visoka energija? U teoriji, mogu se koristiti i visoke temperature i visokofrekventni RF. Uopšteno govoreći, visoku temperaturu je gotovo nemoguće postići. Ovaj zahtjev za temperaturom je previsok i može biti blizak temperaturi sunca. To je u osnovi nemoguće postići u procesu. Stoga industrija obično koristi visokofrekventne RF da bi to postigla. Plazma RF može doseći čak 13MHz+.
Volfram heksafluorid se plazmizira pod dejstvom električnog polja, a zatim se taloži parom pomoću magnetnog polja. Atomi W su slični perju zimske guske i padaju na tlo pod dejstvom gravitacije. Polako, W atomi se talože u prolazne rupe i konačno pune pune prolazne rupe kako bi formirale metalne međusobne veze. Osim taloženja W atoma u prolaznim rupama, da li će oni biti taloženi i na površini Vafera? Da, definitivno. Općenito govoreći, možete koristiti W-CMP proces, koji nazivamo mehaničkim procesom mljevenja za uklanjanje. To je slično korištenju metle za čišćenje poda nakon velikog snijega. Snijeg na zemlji je pometen, ali snijeg u rupi na zemlji će ostati. Dole, otprilike isto.
Vrijeme objave: 24.12.2021
