Volfram heksafluorid (WF6) se taloži na površini pločice kroz CVD proces, ispunjavajući metalne rovove za međusobnu vezu i formirajući metalnu međusobnu vezu između slojeva.
Hajde da prvo pričamo o plazmi.Plazma je oblik materije koji se uglavnom sastoji od slobodnih elektrona i nabijenih jona.Postoji široko u svemiru i često se smatra četvrtim stanjem materije.To se naziva stanje plazme, takođe se naziva i "plazma".Plazma ima visoku električnu provodljivost i snažno spajanje s elektromagnetnim poljem.To je djelomično jonizirani plin, sastavljen od elektrona, jona, slobodnih radikala, neutralnih čestica i fotona.Sama plazma je električki neutralna mješavina koja sadrži fizički i kemijski aktivne čestice.
Jednostavno objašnjenje je da će pod dejstvom visoke energije molekul savladati van der Waalsovu silu, silu hemijske veze i Kulonovu silu, i predstavljati oblik neutralnog elektriciteta u celini.Istovremeno, visoka energija koju daje spolja pobjeđuje gore navedene tri sile.Funkcija, elektroni i ioni predstavljaju slobodno stanje, koje se može umjetno koristiti pod modulacijom magnetnog polja, kao što je proces jetkanja poluvodiča, CVD proces, PVD i IMP proces.
Šta je visoka energija?U teoriji, mogu se koristiti i visoke temperature i visokofrekventni RF.Općenito govoreći, visoku temperaturu je gotovo nemoguće postići.Ovaj zahtjev za temperaturom je previsok i može biti blizu temperature sunca.To je u osnovi nemoguće postići u procesu.Stoga industrija obično koristi visokofrekventne RF da bi to postigla.RF plazma može doseći čak 13MHz+.
Volfram heksafluorid se plazmizira pod djelovanjem električnog polja, a zatim se taloži parom pomoću magnetnog polja.Atomi W su slični perju zimske guske i padaju na tlo pod dejstvom gravitacije.Polako, W atomi se talože u prolazne rupe i konačno pune pune prolazne rupe kako bi formirale metalne međusobne veze.Pored taloženja atoma W u prolaznim rupama, da li će oni biti taloženi i na površini Vafera?Da, definitivno.Općenito govoreći, možete koristiti W-CMP proces, koji nazivamo mehaničkim procesom mljevenja za uklanjanje.To je slično korištenju metle za čišćenje poda nakon velikog snijega.Snijeg na zemlji je pometen, ali snijeg u rupi na zemlji će ostati.Dole, otprilike isto.
Vrijeme objave: 24.12.2021
