Elektronskispecijalni plinovisu važna grana specijalnih gasova. Prodiru u gotovo svaku kariku proizvodnje poluprovodnika i nezamjenjive su sirovine za proizvodnju elektronske industrije kao što su ultra-velika integrirana kola, ravni displeji i solarne ćelije.

U poluprovodničkoj tehnologiji, gasovi koji sadrže fluor se široko koriste. Trenutno, na globalnom tržištu elektronskih gasova, elektronski gasovi koji sadrže fluor čine oko 30% ukupne količine. Elektronski gasovi koji sadrže fluor su važna komponenta specijalnih elektronskih gasova u oblasti elektronskih informacionih materijala. Uglavnom se koriste kao sredstva za čišćenje i sredstva za jetkanje, a mogu se koristiti i kao dopanti, materijali za formiranje filma itd. U ovom članku, autor će vas upoznati sa uobičajenim gasovima koji sadrže fluor.

Sljedeći plinovi koji sadrže fluor se često koriste

Azot-trifluorid (NF3): Gas koji se koristi za čišćenje i uklanjanje naslaga, obično se koristi za čišćenje reakcijskih komora i površina opreme.

Sumporov heksafluorid (SF6)Fluorirajuće sredstvo koje se koristi u procesima taloženja oksida i kao izolacijski plin za punjenje izolacijskih medija.

Fluorid hidrogena (HF): Koristi se za uklanjanje oksida sa površine silicija i kao sredstvo za nagrizanje silicija i drugih materijala.

Azot-fluorid (NF): Koristi se za nagrizanje materijala kao što su silicijum nitrid (SiN) i aluminijum nitrid (AlN).

Trifluorometan (CHF3) itetrafluorometan (CF4)Koristi se za nagrizanje fluoridnih materijala kao što su silicijum fluorid i aluminijum fluorid.

Međutim, plinovi koji sadrže fluor nose određene opasnosti, uključujući toksičnost, korozivnost i zapaljivost.

Toksičnost

Neki plinovi koji sadrže fluor su otrovni, poput vodikovog fluorida (HF), čija para jako nadražuje kožu i respiratorni trakt te je štetna za ljudsko zdravlje.

Korozivnost

Fluorid vodonika i neki fluoridi su veoma korozivni i mogu izazvati ozbiljna oštećenja kože, očiju i respiratornog trakta.

Zapaljivost

Neki fluoridi su zapaljivi i reaguju sa kiseonikom ili vodom u vazduhu oslobađajući intenzivnu toplotu i otrovne gasove, što može izazvati požar ili eksploziju.

Opasnost od visokog pritiska

Neki fluorirani plinovi su eksplozivni pod visokim pritiskom i zahtijevaju posebnu pažnju pri upotrebi i skladištenju.

Uticaj na okolinu

Gasovi koji sadrže fluor imaju visok atmosferski vijek trajanja i vrijednosti GWP-a, što ima destruktivan učinak na ozonski omotač atmosfere i može uzrokovati globalno zagrijavanje i zagađenje okoliša.

Primjena plinova u novim područjima poput elektronike nastavlja se produbljivati, što donosi veliku novu potražnju za industrijskim plinovima. Na osnovu velikih novih proizvodnih kapaciteta glavnih elektroničkih komponenti poput poluvodiča i displeja u kontinentalnoj Kini u narednih nekoliko godina, kao i snažne potražnje za zamjenom uvoza elektroničkih hemijskih materijala, domaća industrija elektroničkih plinova će ostvariti visoku stopu rasta.