Electronicspecijalnih gasovasu važna grana specijalnih gasova. Oni prodiru u gotovo svaku kariku proizvodnje poluvodiča i nezamjenjive su sirovine za proizvodnju elektroničke industrije kao što su integrirana kola ultra velikih razmjera, uređaji s ravnim ekranom i solarne ćelije.

U tehnologiji poluvodiča, plinovi koji sadrže fluor se široko koriste. Trenutno, na globalnom tržištu elektroničkog plina, elektronski plinovi koji sadrže fluor čine oko 30% ukupnog broja. Elektronski gasovi koji sadrže fluor su važna komponenta specijalnih elektronskih gasova u oblasti elektronskih informacionih materijala. Uglavnom se koriste kao sredstva za čišćenje i jetkanje, a mogu se koristiti i kao dodaci, materijali za stvaranje filma, itd. U ovom članku autor će vas povesti da shvatite uobičajene plinove koji sadrže fluor.

Sljedeći su najčešće korišteni plinovi koji sadrže fluor

Azot trifluorid (NF3): Gas koji se koristi za čišćenje i uklanjanje naslaga, obično se koristi za čišćenje reakcionih komora i površina opreme.

sumpor heksafluorid (SF6): Sredstvo za fluoriranje koje se koristi u procesima taloženja oksida i kao izolacijski plin za punjenje izolacijskih medija.

Vodonik fluorid (HF): Koristi se za uklanjanje oksida sa površine silicijuma i kao sredstvo za nagrizanje silicijuma i drugih materijala.

Azot fluorid (NF): Koristi se za jetkanje materijala kao što su silicijum nitrid (SiN) i aluminijum nitrid (AlN).

Trifluorometan (CHF3) itetrafluorometan (CF4): Koristi se za jetkanje fluoridnih materijala kao što su silicijum fluorid i aluminijum fluorid.

Međutim, plinovi koji sadrže fluor imaju određene opasnosti, uključujući toksičnost, korozivnost i zapaljivost.

Toksičnost

Neki gasovi koji sadrže fluor su toksični, kao što je fluorovodonik (HF), čije pare veoma iritira kožu i respiratorni trakt i štetno su za zdravlje ljudi.

Korozivnost

Vodonik-fluorid i neki fluoridi su vrlo korozivni i mogu uzrokovati ozbiljna oštećenja kože, očiju i respiratornog trakta.

Zapaljivost

Neki fluoridi su zapaljivi i reagiraju s kisikom ili vodom u zraku i oslobađaju intenzivnu toplinu i otrovne plinove, što može uzrokovati požar ili eksploziju.

Opasnost od visokog pritiska

Neki fluorirani plinovi su eksplozivni pod visokim pritiskom i zahtijevaju posebnu pažnju kada se koriste i skladište.

Uticaj na životnu sredinu

Plinovi koji sadrže fluor imaju visoke atmosferske vijeke trajanja i GWP vrijednosti, koji imaju destruktivan učinak na atmosferski ozonski omotač i mogu uzrokovati globalno zagrijavanje i zagađenje okoliša.

Primena gasova u novim oblastima kao što je elektronika nastavlja da se produbljuje, donoseći veliku količinu nove potražnje za industrijskim gasovima. Na osnovu velike količine novih proizvodnih kapaciteta glavnih elektronskih komponenti kao što su poluvodiči i displeji u kontinentalnoj Kini u narednih nekoliko godina, kao i jake potražnje za supstitucijom uvoza elektronskih hemijskih materijala, domaća elektronska gasna industrija će pokrenuti visoka stopa rasta.