ElektronskiSpecijalni plinovisu važna grana posebnih gasova. Prodire gotovo svaku vezu poluvodičke proizvodnje i neophodne su sirovine za proizvodnju elektronskih industrija, poput ultra velikih integriranih krugova, uređaja za prikaz ravnih ploča i solarne ćelije.

U poluvodiču tehnologiju, gasovi koji sadrže fluore široko se koriste. Trenutno na globalnom elektroničkom tržištu plina, elektronički gasovi koji sadrže fluore čine oko 30% od ukupnog broja. Elektronski gasovi koji sadrže fluorine važna su komponenta posebnih elektroničkih plinova iz područja elektronskih informativnih materijala. Uglavnom se koriste kao sredstva za čišćenje i sredstva za čišćenje, a mogu se koristiti i kao dopants, materijali za formiranje filmova itd. Autor će vas odvesti da shvatite zajedničke plinove koje sadrže zajedničke fluore.

Sljedeće se obično koriste plinovi koji sadrže fluore

Dušik trifluorid (NF3): gas koji se koristi za čišćenje i uklanjanje naslaga, obično se koristi za čišćenje reakcijskih komora i površina opreme.

Sumpor heksafluoride (sf6): Fluorinirani agent koji se koristi u procesima taloženja oksida i kao izolacijski gas za punjenje izolacijskih medija.

Vodonik fluorid (HF): Koristi se za uklanjanje oksida sa površine silikona i kao etchant za etching silikon i drugih materijala.

Dušik fluorid (NF): Koristi se za uklanjanje materijala poput silikonskih nitrida (grijeh) i aluminijum nitrid (aln).

Trifluorometane (CHF3) iTetrafluorometane (CF4): Koristi se za uklanjanje fluoridnih materijala kao što su silikonski fluorid i aluminijum fluorid.

Međutim, gasovi koji sadrže fluore imaju određene opasnosti, uključujući toksičnost, korozivnost i zapaljivost.

Toksičnost

Neki gasovi koji sadrže fluorine su toksični, poput vodonika fluorida (HF), čija para vrlo iritantna za kožu i respiratorni trakt i štetno za zdravlje ljudi.

Korozivnost

Vodonik fluorid i neki fluoridi su vrlo korozivni i mogu uzrokovati ozbiljnu štetu na koži, očiju i respiratornim putevima.

Zapaljivost

Neki fluoridi su zapaljivi i reagiraju sa kisikom ili vodom u zraku da bi se oslobodili intenzivne toplotne i otrovne gasove, što može uzrokovati požar ili eksploziju.

Opasnost visokog pritiska

Neki fluorirani plinovi su eksplozivni pod visokim pritiskom i zahtijevaju posebnu njegu kada se koriste i pohranjuju.

Uticaj na okoliš

Gasovi koji sadrže fluori imaju visoke atmosferske životne vrijednosti i GWP vrijednosti, koje imaju destruktivni učinak na atmosferski ozonski omotač i može prouzrokovati globalno zagrijavanje i zagađenje okoline.

Primjena gasova u poljima u nastajanju kao što su elektronika i dalje se produbljuje, dovodeći veliki iznos nove potražnje za industrijskim plinovima. Na osnovu velike količine novih proizvodnih kapaciteta glavnih elektroničkih komponenti kao što su poluvodiči i prikazivanja u kopnu Kine u narednih nekoliko godina, kao i snažna potražnja za uvozom za supstituciju elektronskih hemijskih materijala, domaća elektronska plinska industrija će servirati u visokoj stopi rasta.